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      自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統

      下載產品手冊
      自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統是德高潔獨立自主研發,其工作原理是以水力自驅動三維自動旋轉噴頭,形成360°的網狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。
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      產品介紹

      一、系統概述
       
      自動化多晶硅還原爐清洗系統

      德高潔自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統主要用于西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內壁的全自動清洗和烘干,該系統完全由德高潔獨立自主研發而成,并注冊專利;其工作原理是以水力自驅動三維自動旋轉噴頭,形成360°的網狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。其后用經過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,保證烘干完的鐘罩不再結露,可直接進入生產作業。

      二、系統特點

      1、技術能力強,設計合理,根據客戶需求,總結借鑒國內外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經驗,充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢,設計出本套系統,實現了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作?筛鶕褂梅讲煌原爐鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設計。

      2、設備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。

      3、自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控制系統,實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。

      4、適應范圍廣:可以在一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。

      5、節能、環保、安全:提供了預熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統,基本消除了對現場及操作人員的污染。

      6、德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處。服務體系網絡健全,零配件充足。
       
      多晶硅還原爐清洗裝置

      三、清洗工藝

      還原爐鐘罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走。

      注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實踐經驗解決閃爆等問題。
       
      還原爐鐘罩清洗前

      四、設備組成

      1、高壓熱水清洗動力裝置1套

      由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。

      2、熱風凈化烘干機組1套

      進風凈化等級:10萬級。

      3、清洗烘干工作臺及管道1套

      4、電氣控制系統1套

      采用PLC+觸摸屏全自動控制,全套德高潔版控制軟件。

      注:水和風的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
       
      還原爐鐘罩清洗后

      五、施工條件

      1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。

      2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。

      3、壓縮空氣:不小于流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣),指定接口點。

      4、脫鹽水:可提供條件,不小于100 L/min,到指定接口點。

      5、純水:不小于 100 L/min,到指定接點。

      6、清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。

      7、占地面積:36~80平米(寬約6~7米,長6~12米)

      8、三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產生的廢氣做室外排空排放。


      技術參數
      品牌:德高潔
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